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冷冻式温控器

系列/ CAD	设定温度范围	冷却能力	温度稳定性	冷却方式	循环液
HRZ	-20～90℃	1.8～10kW	±0.1℃	水冷冷冻式	氟素化液清水去离子水(纯水) 乙二醇水溶液
特长	在HRZ系列高性能的基础上，采用了DC变频压缩机，实现了省能化。兼备广泛的温度调节范围和冷却能力范围。适用于更新周期短的半导体器件，可以灵活地响应不断变化的工艺条件。符合UL和SEMI标准、CE规格。