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冷冻式温控器

系列/
CAD
设定温度范围 冷却能力 温度稳定性 冷却方式 循环液
HRZ  -20~40℃ 1~15kW ±0.1℃ 水冷冷冻式 氟素化液
清水
去离子水(纯水)
乙二醇
水溶液
20~90℃
-20~90℃
特长
  • 温度稳定性高、温度调节范围宽、具有故障诊断外部通信性能,多用于半导体工艺设备。
  • 适用各种安全标准。
  • 符合UL和SEMI标准、CE规格。
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